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发明名称 MICROWAVE PLASMA PROCESSING PROCESS AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0183561(A3) 申请公布日期 1988.05.25
申请号 EP19850308698 申请日期 1985.11.29
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 FUJIMURA, SHUZO;KISA, TOSHIMASA;MOTOKI, YASUNARI
分类号 H01L21/302;C23F1/08;H01J37/32;H01L21/268;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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