发明名称 SUPERLEDENDE OXIDFILM SAMT FREMGANGSMAADE TIL FREMSTILLING AF DENNE
摘要
申请公布号 DK277188(D0) 申请公布日期 1988.05.20
申请号 DK19880002771 申请日期 1988.05.20
申请人 MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 CHIANG, YET-MING
分类号 C01B13/14;C01B13/32;C01G1/00;C01G3/00;C04B35/45;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/14;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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