| 发明名称 |
PROCEDE DE PULVERISATION DE FILMS DIELECTRIQUES MINCES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2333056(A1) |
申请公布日期 |
1977.06.24 |
| 申请号 |
FR19750037373 |
申请日期 |
1975.12.05 |
| 申请人 |
BELL NORTHERN RESEARCH LTD |
发明人 |
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| 分类号 |
C03C17/22;C03C17/09;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/34;G02B5/28;H01L49/02;(IPC1-7):C23C15/00;H01G13/00 |
主分类号 |
C03C17/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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