SPEKTROMETEROBJEKTIV FUER KORPUSKULARSTRAHLMESSTECHNIK,申请号DE19863638682-传众专利搜索

发明名称	SPEKTROMETEROBJEKTIV FUER KORPUSKULARSTRAHLMESSTECHNIK
摘要
申请公布号	DE3638682(A1)	申请公布日期	1988.05.19
申请号	DE19863638682	申请日期	1986.11.13
申请人	SIEMENS AG	发明人	FEUERBAUM,HANS-PETER,DR.-ING.;FROSIEN,JUERGEN,DR.-ING.
分类号	H01L21/66;G01N23/225;G01R31/302;H01J37/14;H01J37/141;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/244;H01J37/256	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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