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发明名称 METHOD OF TESTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING MIS STRUCTURES
摘要
申请公布号 SU1114992(A1) 申请公布日期 1984.09.23
申请号 SU19823506960 申请日期 1982.10.20
申请人 GOROKHOVATSKIJ YURIJ A,SU;ZHDANOK VLADISLAV,SU;PONOMAREV ALEKSANDR P,SU;OSOKIN YURIJ V,SU;TULUEVSKIJ VALENTIN M,SU 发明人 GOROKHOVATSKIJ YURIJ A,SU;ZHDANOK VLADISLAV I,SU;PONOMAREV ALEKSANDR P,SU;OSOKIN YURIJ V,SU;TULUEVSKIJ VALENTIN M,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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