发明名称 BEHAELTNIS ZUR HANDHABUNG VON HALBLEITERELEMENTEN UND VERFAHREN ZUR PARTIKELFREIEN UEBERGABE
摘要
申请公布号 DE3637880(A1) 申请公布日期 1988.05.19
申请号 DE19863637880 申请日期 1986.11.06
申请人 MEISSNER & WURST GMBH & CO LUFTTECHNISCHE ANLAGEN 发明人 P.DIPL.-ING. WURST,MANFRED;SIMON,RUDOLF,DR.-ING.;VON,DIPL.-ING. KAHLDEN,THOMAS
分类号 B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68;B65D88/74 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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