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发明名称 VACUUM DEPOSITION PLANTS
摘要
申请公布号 GB1525945(A) 申请公布日期 1978.09.27
申请号 GB19750040514 申请日期 1975.10.03
申请人 BALZERS PATENT BETEILIG AG 发明人
分类号 C23C14/54;G01F1/66;G01F1/86;(IPC1-7):G01N21/26 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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