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发明名称
摘要
申请公布号 JPS53122166(U) 申请公布日期 1978.09.28
申请号 JP19770027063U 申请日期 1977.03.07
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;B65G11/00;B65G11/02;H01L21/66;H01L23/32;H05K13/02;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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