发明名称 VERFAHREN ZUM ERZEUGEN STABILER LOKALER REKOMBINATIONSZENTREN IN SI-HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DD256777(A1) 申请公布日期 1988.05.18
申请号 DD19850282066 申请日期 1985.10.25
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK "KARL LIEBKNECHT" STAHNSDORF,DD 发明人 KOCH,EBERHARD,DD;LEMKE,HEINZ,DD
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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