| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUR VORJUSTIERUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DD256780(A1) |
申请公布日期 |
1988.05.18 |
| 申请号 |
DD19850273735 |
申请日期 |
1985.03.04 |
| 申请人 |
VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD |
发明人 |
RIESSLAND,EBERHARD,DD |
| 分类号 |
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
