发明名称 |
SOURCE DRAIN DOPING TECHNIQUE |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2197532(A) |
申请公布日期 |
1988.05.18 |
申请号 |
GB19870012515 |
申请日期 |
1987.05.28 |
申请人 |
* INTEL CORPORATION |
发明人 |
BEEN-JON * WOO;MARK A * HOLLER;ENDER * HOKELEK;SANDRA S * LEE |
分类号 |
H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/425 |
主分类号 |
H01L21/336 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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