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发明名称 Wafer transfer apparatus
摘要
申请公布号 US4744715(A) 申请公布日期 1988.05.17
申请号 US19870065749 申请日期 1987.06.24
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 KAWABATA, TATURO
分类号 H01L21/68;B65G49/07;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):B65G65/23 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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