| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR HIGH RESOLUTION OPTICAL SCANNING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63108772(A) |
申请公布日期 |
1988.05.13 |
| 申请号 |
JP19870260739 |
申请日期 |
1987.10.15 |
| 申请人 |
ENERGY CONVERSION DEVICES INC |
发明人 |
SUTANFUOODO AARU OBUSHINSUKII;ROORENSU JII NOORISU |
| 分类号 |
H01L27/146;H04N1/195;H04N5/225 |
主分类号 |
H01L27/146 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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