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发明名称 SPECTRAL ELLIPSOMETER
摘要
申请公布号 JPS63108236(A) 申请公布日期 1988.05.13
申请号 JP19870254829 申请日期 1987.10.12
申请人 PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV 发明人 JIYAN RU BURI;MARUKO ERUMAN
分类号 G01J4/04;G01J4/00;G01N21/03;G01N21/21 主分类号 G01J4/04
代理机构 代理人
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