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发明名称
METHOD AND TARGET FOR SPUTTER DEPOSITING THIN FILMS.
摘要
申请公布号
EP0216919(A4)
申请公布日期
1988.05.10
申请号
EP19860903089
申请日期
1986.05.01
申请人
HEWLETT-PACKARD COMPANY
发明人
BLOOMQUIST, DARREL, R.;NATARAJAN, BANGALORE, R.;OPFER, JAMES, E.
分类号
C23C14/34;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/00
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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