| 发明名称 |
OPTOELECTRONIC DEVICE WHOSE NUMERICAL APERTURE OF ILLUMINANCE AND IRIS IS VARIABLE AND ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM EMPLOYING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63105451(A) |
申请公布日期 |
1988.05.10 |
| 申请号 |
JP19870259434 |
申请日期 |
1987.10.14 |
| 申请人 |
THOMSON CSF |
发明人 |
EMANIYUERU DOU SHIYANBOSUTO;MISHIERU SONRIE |
| 分类号 |
H01J37/10;H01J37/153;H01J37/30;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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