发明名称 Method of forming thin, defect-free, monocrystalline layers of semiconductor materials on insulators
摘要
申请公布号 US4743567(A) 申请公布日期 1988.05.10
申请号 US19870084657 申请日期 1987.08.11
申请人 NORTH AMERICAN PHILIPS CORP. 发明人 PANDYA, RANJANA;MARTINEZ, ANDRE M.
分类号 H01L21/20;H01L21/263;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/225 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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