发明名称 |
Method of forming thin, defect-free, monocrystalline layers of semiconductor materials on insulators |
摘要 |
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申请公布号 |
US4743567(A) |
申请公布日期 |
1988.05.10 |
申请号 |
US19870084657 |
申请日期 |
1987.08.11 |
申请人 |
NORTH AMERICAN PHILIPS CORP. |
发明人 |
PANDYA, RANJANA;MARTINEZ, ANDRE M. |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/263;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/225 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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