发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN COMPOSANT BICMOS
摘要 LE COMPOSANT BICMOS EST REALISE SUR UN SUBSTRAT DE SILICIUM 1 COMPORTANT UNE PREMIERE REGION 8 OU EST FORME UN TRANSISTOR BIPOLAIRE 30, 50, 52, UNE SECONDE REGION 21 OU EST FORME UN PMOSFET 46, 54, 56, ET UNE PARTIE 9 OU EST FORME UN NMOSFET 26, 28, 48.SELON L'INVENTION, LA REGION DE GRILLE DES MOSFETS EST FORMEE AU COURS D'UNE ETAPE SPECIFIQUE, QUI PERMET D'OBTENIR UN ISOLANT DE GRILLE RESTANT PUR ET PARFAITEMENT DEFINI, ASSURANT AINSI UN CONTROLE TRES PRECIS DES TENSIONS DE SEUIL DES MOSFETS.DE PLUS, LES PARAMETRES ELECTRIQUES DE CES MOSFETS DEVIENNENT ENTIEREMENT INDEPENDANTS DES CONDITIONS DE FABRICATION DU TRANSISTOR BIPOLAIRE.ENFIN, CES AMELIORATIONS SE FONT SANS AUGMENTATION DU NOMBRE DES ETAPES DE PROCESSUS; BIEN AU CONTRAIRE, LE PROCEDE DE L'INVENTION PERMET DE REDUIRE LE NOMBRE TOTAL DES ETAPES DE MASQUAGE, TYPIQUEMENT DE DIX (POUR UN PROCEDE CONVENTIONNEL) A HUIT.
申请公布号 FR2606212(A1) 申请公布日期 1988.05.06
申请号 FR19870015204 申请日期 1987.11.03
申请人 SAMSUNG SEMICONDUCTOR TELECOMMU 发明人 SUK-GI CHOI;SUNG-KI MIN;CHANG-WON KAHNG
分类号 H01L29/94;H01L21/331;H01L21/78;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/73;(IPC1-7):H01L27/06;H01L29/72;H01L29/78 主分类号 H01L29/94
代理机构 代理人
主权项
地址