发明名称 |
METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS57126146(A) |
申请公布日期 |
1982.08.05 |
申请号 |
JP19810201750 |
申请日期 |
1981.12.16 |
申请人 |
PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN NV |
发明人 |
DEIRUKU ADORIAAN BOOGERUZANGU |
分类号 |
H01L21/22;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/761;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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