发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS57126146(A) 申请公布日期 1982.08.05
申请号 JP19810201750 申请日期 1981.12.16
申请人 PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN NV 发明人 DEIRUKU ADORIAAN BOOGERUZANGU
分类号 H01L21/22;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/761;H01L29/73 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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