| 发明名称 |
TRANSPORTING OF WORKPIECE TO AND FROM VACUUM COATING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU572375(B2) |
申请公布日期 |
1988.05.05 |
| 申请号 |
AU19860052537 |
申请日期 |
1986.01.21 |
| 申请人 |
BOC GROUP INC., THE, |
发明人 |
ALBANY D. GRUBB;WALTER G. OVERACKER;ALEX BOOZENNY |
| 分类号 |
B65G49/00;C23C14/56;H01L21/677;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
B65G49/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
