| 摘要 |
<p>Un procédé, destiné à former une fine péllicule polycristalline sur un substrat transparent, consiste à vaporiser une solution précurseur appropriée sur le substrat et à chauffer le substrat pour faire évaporer le solvant précurseur se trouvant sur le substrat. Dans la présente invention, les gouttelettes de la solution précurseur sont chargées électrostatiquement et sont attirées électrostatiquement sur la surface du substrat. En outre, les gouttelettes heurtant la surface du substrat sont chauffées par l'énergie de rayonnement incidente qui arrive sur la surface du substrat en provenance du côté opposé de la vaporisation.</p> |
