| 摘要 |
<p>Nadelkarte (26) für Prüfeinrichtungen, die der Prüfung von Chips aufweisenden Wafers (16) auf elektrische Fehlerfreiheit der Chips dienen. Die Nadelkarte (26) weist eine Nadelanordnung auf, die von einer Leiterplatte (27) getragen wird. Zur kostengünstigen Herstellung der Nadelkarte (26) sind die Nadeln (33) in Löchern mindestens einer Führungsplatte (31) axial geradegeführt.</p> |
