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发明名称 DEPOSIZIONE DI PISTE CONDUTTRICI SU DISPOSITIVI SEMICONDUTTORI
摘要
申请公布号 IT1192728(B) 申请公布日期 1988.05.04
申请号 IT19790022733 申请日期 1979.05.17
申请人 ITT INDUSTRIES INC 发明人
分类号 C23C16/02;C23C16/20;C23C16/44;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/306;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):C23C/ 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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