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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号
DD256392(A1)
申请公布日期
1988.05.04
申请号
DD19860298526
申请日期
1986.12.24
申请人
VEB MIKROELEKTRONIK "KARL MARX" ERFURT,DD
发明人
BOEHMER,KARL-HEINZ,DD;CATTUS,GERHARD,DD;FROEHLICH,MANFRED,DD
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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