SEMICONDUCTOR WAFER PROBER APPARATUS,申请号JP19860244948-传众专利搜索

发明名称	SEMICONDUCTOR WAFER PROBER APPARATUS
摘要
申请公布号	JPS6399541(A)	申请公布日期	1988.04.30
申请号	JP19860244948	申请日期	1986.10.15
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	KARASAWA WATARU
分类号	H01L21/66;G01R31/28	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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