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发明名称 RESIST-FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6399527(A) 申请公布日期 1988.04.30
申请号 JP19860244170 申请日期 1986.10.16
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 WATANABE TAKESHI;NIIZEKI YOSHIKI
分类号 B05B13/02;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05B13/02
代理机构 代理人
主权项
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