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发明名称 MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS6399579(A) 申请公布日期 1988.04.30
申请号 JP19860244219 申请日期 1986.10.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 BUSSHU TERUO;ARAI TOSHIYUKI
分类号 H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/338
代理机构 代理人
主权项
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