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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6398133(A) 申请公布日期 1988.04.28
申请号 JP19860243022 申请日期 1986.10.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIMA TAKESHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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