发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6398136(A) 申请公布日期 1988.04.28
申请号 JP19860244674 申请日期 1986.10.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ISHIHARA KAORU
分类号 H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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