发明名称 MANUFACTRE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6398148(A) 申请公布日期 1988.04.28
申请号 JP19860245041 申请日期 1986.10.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUZUKI KUNIHIRO
分类号 H01L21/225;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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