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发明名称
FORMING METHOD FOR ELEMENT ISOLATION REGION
摘要
申请公布号
JPS6398130(A)
申请公布日期
1988.04.28
申请号
JP19860244384
申请日期
1986.10.15
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MAKINO TAKAMI;IMAOKA KAZUNORI
分类号
H01L21/205;H01L21/76
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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