发明名称 FORMING METHOD FOR ELEMENT ISOLATION REGION
摘要
申请公布号 JPS6398130(A) 申请公布日期 1988.04.28
申请号 JP19860244384 申请日期 1986.10.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MAKINO TAKAMI;IMAOKA KAZUNORI
分类号 H01L21/205;H01L21/76 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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