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发明名称 X-RAY EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6398127(A) 申请公布日期 1988.04.28
申请号 JP19860243153 申请日期 1986.10.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANIGUCHI MOTOYA;IKEDA MINORU;TANAKA MINORU;FUNATSU RYUICHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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