发明名称 Integrated circuit method using double implant doping
摘要
申请公布号 US4740478(A) 申请公布日期 1988.04.26
申请号 US19870008991 申请日期 1987.01.30
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 ZDEBEL, PETER J.;BALDA, RAYMOND J.
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/22;H01L21/285;H01L21/331;H01L21/60;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/225 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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