发明名称 |
Integrated circuit method using double implant doping |
摘要 |
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申请公布号 |
US4740478(A) |
申请公布日期 |
1988.04.26 |
申请号 |
US19870008991 |
申请日期 |
1987.01.30 |
申请人 |
MOTOROLA INC. |
发明人 |
ZDEBEL, PETER J.;BALDA, RAYMOND J. |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/033;H01L21/22;H01L21/285;H01L21/331;H01L21/60;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/225 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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