发明名称 PRODUCTION OF TRICHLOROSILANE
摘要
申请公布号 JPS6395107(A) 申请公布日期 1988.04.26
申请号 JP19860239229 申请日期 1986.10.09
申请人 MITSUI TOATSU CHEM INC 发明人 INOUE KAORU;MIYAGAWA HIROJI;ITO MASAYOSHI;KOIZUMI KIYOUGO;YANAGAWA NORIYUKI;MURAKAMI MASAMI
分类号 C01B33/107;B01J27/00;B01J27/125;B01J27/128;B01J27/135;B01J27/138 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
地址