发明名称 CRYSTAL GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6395197(A) 申请公布日期 1988.04.26
申请号 JP19860242407 申请日期 1986.10.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MUTO KATSUHIKO
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
地址