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发明名称
ELEMENT ISOLATION AT INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS6395645(A)
申请公布日期
1988.04.26
申请号
JP19860240942
申请日期
1986.10.09
申请人
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
发明人
MIKAMURA YASUKI
分类号
H01L21/761;H01L21/265;H01L21/76
主分类号
H01L21/761
代理机构
代理人
主权项
地址
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