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发明名称 DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6394620(A) 申请公布日期 1988.04.25
申请号 JP19860239087 申请日期 1986.10.09
申请人 FURENDOTETSUKU KENKYUSHO:KK 发明人 MIYAMOTO SHUICHI;SUGANE KOJIROU;YAMADA NORITSUGU
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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