发明名称 EVAPORATION OF VOLATILE MATERIAL
摘要
申请公布号 JPS6394616(A) 申请公布日期 1988.04.25
申请号 JP19860240334 申请日期 1986.10.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MORIZAKI MOTOJI;OGURA MOTOTSUGU
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址