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发明名称 METHOD FOR CONTROLLING DEFLECTION OF CHARGED BEAM
摘要
申请公布号 JPS6394624(A) 申请公布日期 1988.04.25
申请号 JP19860239141 申请日期 1986.10.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KUSAKABE HIDEO
分类号 H01J37/147;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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