发明名称 SECONDARY ION MASS SPECTROMETER
摘要
申请公布号 JPS6394140(A) 申请公布日期 1988.04.25
申请号 JP19860237955 申请日期 1986.10.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 IZUMI EIICHI
分类号 G01N23/225;H01J49/28 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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