发明名称 FORMATION OF COMPOSITE PASSIVATION FILM WITHOUT DISTORTION
摘要
申请公布号 JPS6392027(A) 申请公布日期 1988.04.22
申请号 JP19860237054 申请日期 1986.10.07
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KOBAYASHI KEIJI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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