发明名称
摘要
申请公布号 JPS6314369(Y2) 申请公布日期 1988.04.22
申请号 JP19820014343U 申请日期 1982.02.04
申请人 发明人
分类号 H01J3/04;B01J19/08;H01J27/26;H01J37/08;H01J49/16;H01L21/302;(IPC1-7):H01J27/26 主分类号 H01J3/04
代理机构 代理人
主权项
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