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发明名称 TEST CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6391578(A) 申请公布日期 1988.04.22
申请号 JP19860238445 申请日期 1986.10.06
申请人 NEC CORP 发明人 NOZAKI TOSHIAKI
分类号 H01L21/66;G01R31/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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