发明名称 DC ELECTRIC SOURCE FOR PVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6392225(A) 申请公布日期 1988.04.22
申请号 JP19860235920 申请日期 1986.10.02
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 TAGAMI KUNIHARU
分类号 H02J1/00;H02H7/20 主分类号 H02J1/00
代理机构 代理人
主权项
地址