ION BEAM DEVICE,申请号JP19860235523-传众专利搜索

发明名称	ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6391945(A)	申请公布日期	1988.04.22
申请号	JP19860235523	申请日期	1986.10.03
申请人	FUJI ELECTRIC CO LTD	发明人	KOGUCHI MAKOTO;FURUYA MASAYASU
分类号	G01N23/225;H01J37/12;H01J37/317	主分类号	G01N23/225
代理机构		代理人
主权项
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