发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6392017(A) 申请公布日期 1988.04.22
申请号 JP19860237453 申请日期 1986.10.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKEI HAJIME
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址
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