DETECTION OF DEFECT OF EXTRA-THIN ORGANIC FILM,申请号JP19860234361-传众专利搜索

发明名称	DETECTION OF DEFECT OF EXTRA-THIN ORGANIC FILM
摘要
申请公布号	JPS6390744(A)	申请公布日期	1988.04.21
申请号	JP19860234361	申请日期	1986.10.03
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	NAKAYAMA TOSHIO;MIZUSHIMA KOICHI
分类号	G01N23/18;G09F9/00	主分类号	G01N23/18
代理机构		代理人
主权项
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