| 摘要 |
Un appareil (10) produit un faisceau (14) d'agglomérats ionisés, et possède une source d'agglomérats (12) et un ioniseur (18). Il comprend également un séparateur de masse électrostatique (26) qui permet uniquement aux agglomérats ayant une masse supérieure à une valeur sélectionnée de passer. Des ions non agglomérés et des agglomérats de taille plus petite sont réfléchis et n'atteignent pas le substrat cible. Le séparateur de masse (26) possède une électrode de champ à retardement (30) et une électrode d'entrée (28), toutes deux sous la forme de grilles (32), avec des ouvertures de grille alignées. L'utilisation d'un second séparateur de masse électrostatique (26) permet la sélection d'une plage étroite de masse d'agglomérats pour leur accélération contre le substrat. |
