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经营范围
发明名称
CENTRIFUGAL DEHYDRATOR
摘要
申请公布号
JPS6390830(A)
申请公布日期
1988.04.21
申请号
JP19860236505
申请日期
1986.10.03
申请人
NEC CORP
发明人
YAMAMOTO YUICHI
分类号
H01L21/304;F26B5/08
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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