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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6390149(A) 申请公布日期 1988.04.21
申请号 JP19860234582 申请日期 1986.10.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 IIJIMA SHINPEI;KAWAMOTO YOSHIFUMI
分类号 H01L21/31;H01L21/76 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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